Izaugsmes Īpašības Plāns Film Slēdži

- Apr 06, 2017 -

Pieauguma īpašības plānu plēvi slēdži ietekmē nogulumiežu apstākļi, galvenie faktori ir izgulsnēšanās ātrumu, substrāta temperatūra, atomu biežums virzienu, substrāta virsmas stāvokli un vakuuma grādu.


Dažāda veida metālu, ietekme nogulsnēšanas ātruma ir atšķirīgs, jo pārsūtīšanas ātrums no metāla atomiem, kas nogulsnējas substrāta virsmas ir saistīta ar īpašībām un virsmas apstākļiem metāla. Pat paši metāli, dažādās procesa apstākļos, nosēdumi likme filmu struktūras ietekme nav pilnībā konsekventi. Vispārīgi runājot, nogulsnēšanās ātrums ietekmē graudu izmērs un vienveidību graudu izplatīšanu un defektiem membrānas slāni.


Attiecībā uz zemo nogulsnēšanas ātruma, metāla atomi migrē uz pamatnes ilgāk, viegli sasniegt adsorbcijas punktu stāvokli, vai otra adsorbcijas punktu atrašanās vietu mazo salu, kas uzņemts ar veidošanās rupjas graudu, padarot struktūru plānas plēve, pet plānas plēves, slēdzis nav blīvs.


Tajā pašā laikā, jo nosēdumu atomi ierodas pamatnes turpmākās atomi nav ieradušies laikā, tādējādi pakļauti ilgāku laiku, ir uzņēmīgas pret atlikuma gāzes molekulu vai izgulsnējas piemaisījumu procesā piesārņojuma, un parādās dažādi defekti.


Tāpēc nogulsnēšanās līmenis ir augsts. Augsts nogulsnēšanās ātrums var padarīt plānas plēves graudus neliels, blīvs struktūra, bet gan tāpēc, ka kodola daudz kondensācijas tajā pašā laikā, enerģijas kodols ir augstāka nekā valsts enerģijas, tāpēc filma slēdzis ir salīdzinoši liels iekšējo spriedzi, bet arī defektus.


Related Products